400-677-0098
热解碳化硼生长炉
热解碳化硼生长炉
产品描述:
热解碳化硼生长炉主要用于半导体领域,如OLED坩埚、PBN板材/环舟、VGF坩埚、LEC坩埚等的制备
应用范围:
OLED坩埚、PBN板材/环舟、VGF坩埚、LEC坩埚等

热解碳化硼生长炉技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制BCl3/NH3的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3

热解碳化硼生长炉产品规格

参数\型号VCVD-0305-BNVCVD-0608-BNVCVD-0612-BNVCVD-0812-BNVCVD-1120-BNVCVD-1218-BNVCVD-1315-BNVCVD-1520-BN
工作区尺寸 φ×H(mm)300×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001300×15001500×2000
最高温度(℃)20002000200020002000200020002000
温度均匀性(℃)±5±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±10/±15±15/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

热解碳化硼生长炉配置选择

结构形式:立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C分度号

红外仪:单比色/双比色

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组

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