400-677-0098
碳化硅外延生长炉
碳化硅外延生长炉
产品描述:
碳化硅外延生长炉主要用于石墨盘或碳化盘的碳化硅外延生长制备
应用范围:
石墨盘、碳化盘

碳化硅外延生长炉技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制MTS/MS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生长炉产品规格

参数\型号HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
工作区尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
最高温度(℃)15001500150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

碳化硅外延生长炉配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C/S分度号

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组

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